SJT 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法
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ID： |
221B67EC97C84054B9434C71C4400031 |
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文件大小(MB)： |
0.38 |
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页数： |
5 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,离子束蚀刻机完好要求,和检查评定方法,SJ/T 31100-94,主题内容与适用范围,本标准规定了半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法,本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机,2名词与术语,2.1束能量——表征离子束中离子的动能,2. 2束流密度——离子束某ー指定截面上单位面积所通过的电流强度,2.3有效束径——打到靶上的束流密度均匀性在士5%以内的束直径范围,2. 4束流稳定性——规定时间内束流强度变化的均方根值与其平均值之比,2.5束流密度均匀性——离子束某ー指定截面上各等距测试点间束流变化的最大与最小值,之差与其之和的百分率,2. 6蚀刻均匀性——被蚀刻材料表层不同点上的蚀刻速率的不一致性,2.y中和器——产生中和离子束正电荷的电子发射源,3完好要求,3.1 性能指标,3.1.1 束能量:o—lOOOev；,3.1.2 有效束径:ミ460mm;及380mm ； 26100mm,(注:三种规格,任选其ー,设备限用考夫曼离子源),3.1.3 束流密度:能量 500eV 时、O.5mA/cm2；,能量 1000eV 时、ImA/cm2,3.1.4 束流密度均匀性:在有效束径内,束流密度均匀性W土5%,3.1.5 束流稳定性：<±1%(1H)；,<±2%(4H)O,3.1.6 真空度：,a.极限真空:<6.7X10^Pa；,b.工作真空:<4X10-2Pa,c.恢复真空:暴露大气不超过20min,从大气压抽到&XlO^Pa时,时间应少于,20mino,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,sj/t 31100-94,3.1.7 蚀刻台:,a.旋转:1 Or/min；,b.倾斜角度:。.90。连续可调:,c.冷却方式:半导体致冷或直接水冷;,d.蚀刻エ件温升:其70C,3.1.8 蚀刻均匀性:W土5%,3.1.9 束中和方式:热灯丝中和器装置,3.2 操作系统,3 . 2.1各操作开关、按钮启动灵活,标志齐全,定位可靠,3 .2.2各传感器、限位装置齐全,性能灵敏、可靠,3.3 气路系统,3.3.1 气路系统的运动件在规定的各种速度范围内,不应发生振动和显著的冲击,不应有代?,滞和爬行现象,3. 3- 2气动设备的噪声必须符合GBJ 87的规定,3.3.3 气路系统各电磁阀、气动网及各元件动作灵敏、可靠,各部压カ不应低于或超过规定压,カ的15%,3.3.4 气路系统中失压和过压保护必须可靠,3.3.5 气路管路系统基本上不得有外部泄漏,管道两端应可靠固定。管道、接头、阀门、元件之,间联结应牢固、密封,3.3.6 过滤器的滤芯应清洁,气体通过滤芯的最大压降不应超过制造厂的规定的15%。分离,器的放水阀应灵活有效,3- 3.y油雾器中的润滑液应清洁够量,3.3.8压力表等仪表齐全完整、灵敏、可靠;运转良好,指示准确,有有效期内校验合格证,3. 3-9贮气罐定期检查,有有效期内压カ容器检验合格证,3.4 真空系统,3.4.1 机械泵、扩散泵性能稳定、可靠、运行正常,无异常振动、噪音。机械泵、真空设备完好要,求,具体参照SJ/T 31412—94执行,3.4.2 真空管路整齐、清洁,联接牢固可靠,密封性好,无泄漏,3.4.3 仪表性能灵敏,指示准确,有有效期内校验合格证,3.5 电气系统,3. 5.1电气系统装置齐全,管线整齐无损伤,性能良好,运行可靠,3. 5.2电气箱内清洁,布线整齐,线路无破损、无老化,各端子联接牢固无松动,标忐齐全、明,显,3.5.3 各种开关、旋钮动作灵敏,安全可靠,3.5.4 各种仪表灵敏、可靠,指示准确,有有效期内校验合格证,3.6 安全防护,3.6.1 自动保护装置、报警装置齐全、完整无损,性能灵敏、牢固可靠,3.6-2 设备保护盖板、挡尘板齐全,完整无损,固定可靠,作用良好,3.6.3 设备外壳接地可靠,标志明显,3.7 维护保养,sj/t 31100-94,3. 7-1设备内无碎片、杂物,工作台表面无划伤痕,3. 7. 2其他按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,4检查、评定方法,4.1 检查方法,4.1.1 束能量测试:,采用精密数字电压表,分别测出屏栅电源,阳极电源输岀电压，用(1)式计算:,Eb = eVn .. (1),% =匕 + 瞑 + VP8,式中:同表征束能量(eV),匕表征离子束净加速电压.,匕离子源屏栅电源电压(V),Va离子源阳极电源电压(V),VPa离子源中等离子体鞘电位,理论值约5V,(注：规定屏栅电源正端与阳极电源负端相连),4.1.2束流密度测试,符号说明,s——考夫曼离子源,F——法拉第筒,A——毫安表,V——精密数字电压表,R——精密线绕电阻(3￡1),d——测试距离,由具体测试装置而定,图1束流密度测试方法示意图,根据选配离子源,确定测试参数。如图1所示测试方法,法拉第筒探头面积1cm%在规定,的距离d条件下,径向移动探头,测出的最大束流密度即是,注:测试参数确定:,a,匕=5OOV和1000V、(测两个对应的能量),b. VA =50V,c.匕(加速栅电压)= -8OV,d.改变灯丝电源电压,使放电电流(阳极电流)ム=2A,e.不加中和器,3,SJ/T 31100-94,4.1.3 束流密度均匀性测试,按照4.1.2选定的测试条件,设备运行15min预热。按图(1)所示方法。在规定的束径范,围内法拉第筒沿束径向方向进程,回程各测三次。每次每0. 25cm等距离移动,测出对应点相,应束流,分别计算进程,回程各点……
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